无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。合肥洁净保洁服务有限公司结合多年的无尘洁净室的保洁经验，对无尘洁净室保洁流程做如下的总结，具体保洁方案如下表：

一、所需清洁工具及产品

（1）洁净室专用吸尘器

（2）洁净纸、无尘布、抹布  

（3）去离子水/过滤洁净水  

（4）酒精

（5）水桶

（6）拖把

（7）拖把专用桶

二、清洁要求

A：初清

1、工具：地拖、抹布、清洁剂。

2、主要对象：针对施工所产生的粉尘进行清洁

步骤:天花--墙面 — 地面        

注意事项:

1、天花的灰尘,多余玻璃胶,灯具外面的灰尘,转角的清洁,开孔或定位画线的笔迹 等 清理.

2、立板的清理主要是 突出 墙面 或凹入墙面的部位;如:有设室电箱的顶部,线槽,管线,消防栓,玻璃视窗 , 回风百叶等墙面污迹清理。

3、地面部分,回风柱部灰尘清除,地面设备及配置器具清理;如:工作桌,鞋柜,圆弧边,转角等。

4、维护室,进入室人员需进行防尘处理.(穿无尘衣,设置脚踏粘垫)。

以上清洁完成后可进行下一步骤：细清

B：细清 ( 保证室有一定的洁净程度,把空调系统运行起来,可以进行室的细清工作 ) 。 

1、清洁 洁净室的墙时应使用洁净室无尘布；

2、用90％去离子水和10％的异丙醇配置 清洁 剂；

3、使用已获批准的洁净室专用去污剂；

4、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。

5、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。

6、清洁 洁净室的地面应使用专用拖把。

7、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。

8、所有的门都需要检查并擦干

9、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

10、架空地板下也要吸尘及擦拭。

11、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

12、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。 

三、洁净室的清洁程序

（1）更换好专用防静电服，戴好帽子、口罩，经风浴吸尘通道除尘后，进入洁净室。

（2）准备好 清洁 工具及用品并放置在规定地点后，开始 清洁 工作。

（3）捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。

（4）按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱垃圾，并进行检查，按规定严格分类后，经生产线管理员或保安检查后运送到指定的垃圾房分类放置。

（5）由上向下使用洁净纸或无尘布 清洁 室玻璃、墙面、货架、   

（6）使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布 清洁 干净。

（7）利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。

（8）定期 清洁 天花板、空调出风口、顶灯隔罩、高架地板下, 清洁 程序和使用的材料必须申请厂务部批准，并利用节假日及休工间隙按计划进行。

（9）清洁 工作完成后需将所有 清洁 用品收到指定 清洁 间，与普通工具区别存放，避免交叉污染，整齐摆放，不得随意乱放在洁净室。

四、注意事项 (视不同级别要求而定)  

（1）必须丢弃膨松的头罩、面罩、胡须罩、鞋罩和胶乳手套，决不可再次使用。

（2）员工着装、准备工作要求。

（3）不允许有私人物品，如大衣、帽子、钱包、钥匙 。

（4）员工应当更换针对带来污染的衣服和饰品。

（5）员工应当穿着无尘室兜帽、手套、兔皮服和袜子。破损或被污染的罩衫或罩袍应当立即更换。着装应符合规定的着装步骤。

（6）不允许有任何普通的纸垫、笔记本、手册和写字板；不允许有普通的书写用铅笔、钢笔、橡皮、蜡笔或粉笔；笔记棉绒纸、塑料纸等类似的纸上，同时使用圆珠笔或其它不产生粉尘的用具；蓝线印记、规格或其它说明上应当覆有塑料膜、棉绒或其它不产生粉尘的用具。

五、无尘室定期清洁标准

无尘室的无尘无菌条件对现代大部分制造业是不可或缺的。没有洁净的生产条件，可能使产品受到污染而出现故障，也可能会对人体产生危害。对无尘室进行清洁的目的，就是要从无尘室或洁净区重要性各不相同（对洁净度而言）的表面，收集释放出来的所有不希望的污染物，并把它们清除掉。无尘室的清洁标准如下表：

六、进入无尘室注意事项：

1、在洁净室走动时动作宜轻不得奔跑，以避免影响层流。

2、在洁净室工作，若暂停操作时不可以脱口罩及手套做短暂休息。

3、进入洁净室时须先经过洗尘室。

4、进入洁净室工作人员必须穿着合身之无尘衣服及鞋子。

5、设备维修如有必要坐、卧或躺时，须于地上铺上专有之塑料布。

6、脱除无尘衣须先脱除：口罩、无尘鞋、无尘衣、发罩、手套、并依标示分类摆放或丢弃。

7、口罩的正确扣戴方式是以无尘衣头罩后面上方扣带扣戴。

8、洁净室工作人员不可携带非无尘笔记本进入洁净室。

9、洁净室不得使用铅笔、书写一律使用原子笔，书写错误时也不可以用修正液修改。

10、着无尘衣之要遮口遮鼻、头发不得外露、衣袖、口须包住手套口、避免手腕外露。

11、洁净室高架地板不可随意拉启，以免影响层流及人员安全。

12、着装完后，不可进入监控室。

13、进入晶圆区工作同人均不得使用化妆品（如口红、腮红、香水等）。

14、进入洗尘室注意事项：不可并行，两人身体须保持30公分以上，双手插腰，慢速通过，严禁奔跑。

15、降低微尘之方法是：保持头、手、身上干净。

16、于洗尘室洗尘时，两人身体前后须保持30公分以上。